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STACIS IIIc是STACIS III高級主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。
更新時間:2021-06-11
廠商性質:生產廠家
710系列非磁無磁光學平臺光學頂部采用非磁性結構,推薦用于需要支撐高強度磁鐵或保持均勻磁場的應用。 雖然不銹鋼合金不能100%非磁性,但316合金頂層、底層和內部蜂窩結構可顯著降低鐵磁性能。同時,側壁和杯子完全不含鐵。
更新時間:2020-07-12
光學平臺配件和選件 ●螺紋孔數量是傳統1英寸或25毫米網格的兩倍 ●每平方英尺有288個孔,每平方米有3,200個孔 ●蜂窩單元數量是我們大競爭對手的兩倍(0.50平方英寸)
TMC將我們固有的CleanTop®設計與幾個新專有設計特征、清潔方法以及為德克薩斯大學拍瓦激光項目開發的真空泵送程序相結合,達到了以前無法達到的真空光學平臺兼容水平。
主動空氣調平系統(OEM)-- PEPS® II建立在TMC的*利PEPS®(精密電子定位系統)基礎上并對其進行了改進。通過添加新的數字控制器,PEPS® II更易于使用,提供了更多功能,還有一個改進的用戶界面。
主動空氣消振器(OEM)- Electro-Damp®是*一款專門用于提高半導體制造應用中的吞吐量、分辨率和產量的商用主動隔振系統。
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