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TMC繼續在先進技術的基礎上開發新的解決方案,以滿足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。主動隔振系統Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主動消振系統。
更新時間:2020-07-11
廠商性質:生產廠家
LaserTable-Base?氣浮綜合性主動隔振系統是現有光學平臺隔振技術的一大飛躍。通常,光學平臺由低頻氣動隔振系統支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動系統實際上放大了關鍵的1至3 Hz范圍內的振動。
更新時間:2020-07-11
廠商性質:生產廠家
地面式主動隔振光學平臺 通過將我們的不銹鋼平臺與獨特的“提升罩”設計相結合,我們的隔振器可“支撐”平臺,使工具在地面上方抬起小距離。
更新時間:2020-07-11
廠商性質:生產廠家